為什么說直線電機(jī)是打開半導(dǎo)體設(shè)備市場發(fā)展的重要因素之一

文章來源：東莞希思克傳動科技有限公司    發(fā)布日期：2020-1-6    瀏覽：1827次

據(jù)調(diào)查2018年半導(dǎo)體貿(mào)易赤字達(dá)到2,200多億美元。歐美發(fā)達(dá)國家為了阻攔我國在半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，嚴(yán)苛限制半導(dǎo)體協(xié)同創(chuàng)新機(jī)器設(shè)備出入口到我國。最近中芯國際向荷蘭阿斯麥企業(yè)購買的極紫外線光刻機(jī)(EUV)恐生變動，阿斯麥企業(yè)以沒有獲得出口許可證為由一拖再拖未送貨，距離中國的第一臺EUV光刻機(jī)看來也有很長的路要走。2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)現(xiàn)狀為868億美金，產(chǎn)出率為13%，在集成電路行業(yè)甚至更低，約為5%。應(yīng)對關(guān)鍵技術(shù)被卡脖子的困境，中國唯有自身研制才是打破之法，國家大基金二期宣布在這樣的情形下問世的。

國家大基金二期潛心項目投資的重點領(lǐng)域之一就是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造機(jī)器設(shè)備，例如光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、塑料薄膜設(shè)備、檢測設(shè)備等，其加工精度能夠可達(dá)亞μm級甚至是納米級，在這類精度需要下，一般的電機(jī)沒辦法滿足需要?，F(xiàn)階段，最優(yōu)秀的光刻機(jī)、封裝檢測設(shè)備、自動切割機(jī)等均選用直線電機(jī)做為動力裝置。

直線電機(jī)是一種將電能直接轉(zhuǎn)化成直線運動機(jī)械能，而不用任意中間變換結(jié)構(gòu)的傳動裝置。它能夠當(dāng)做是一臺旋轉(zhuǎn)電機(jī)按徑向割開，并進(jìn)行成平面。在直線電機(jī)中，等于旋轉(zhuǎn)電機(jī)電機(jī)定子的，叫初中級，等于旋轉(zhuǎn)電機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子的，叫次級線圈。初中級中通以交流，次級線圈就在電磁力的影響下順著初中級做直線運動。

在集成電路芯片生產(chǎn)制造加工廠，高精度光刻機(jī)一般置放在在級別為10的凈化室里，直線電機(jī)運用于在其中XY定位平臺，應(yīng)用納米技術(shù)像素來保持亞μm級精度。除此之外直線電機(jī)在控制面板、診療等行業(yè)也愈來愈火爆，由于相較為傳統(tǒng)式的走走電機(jī)，直線電機(jī)具備大的優(yōu)點，詳細(xì)如下：

構(gòu)造簡易，重量輕。直線電機(jī)根據(jù)以至少的零部件總數(shù)來保持平行線驅(qū)動器，并且是只存有一個運作的構(gòu)件；

維護(hù)保養(yǎng)簡易，使用期長。因為構(gòu)件少，運作時無機(jī)器觸碰，進(jìn)而大幅度降低了零部件的損壞，只需極少甚至于不用維護(hù)保養(yǎng)，使用期更長；

行程大。運作的行程安排在概念上是不會受到任意束縛，并且其特性不容易由于其行程的尺寸變動而受干擾；

滑動摩擦力不大。沒有機(jī)器觸碰，傳動力是在氣隙中造成的，除去直線電機(jī)線軌之外沒有其他的磨擦；

加速度大。最大達(dá)到10g；

運作穩(wěn)定。這由于除去起支撐點影響的直線滑軌或氣浮機(jī)滾動軸承外，沒有其他機(jī)械連接或變換設(shè)備的原因；

轉(zhuǎn)速比運作范疇大。其運行能夠出示很寬的轉(zhuǎn)速比運作范疇，其包含包含從每秒鐘幾微米到數(shù)米，尤其髙速情況下是其一個突顯的優(yōu)勢；

精度和反復(fù)精度高。由于除去了干擾精度的中間環(huán)節(jié)，操作系統(tǒng)的精度在于部位檢驗部件，有適合的反饋設(shè)備可達(dá)亞μm級甚至于納米級。平行線電機(jī)的精度特性要遠(yuǎn)遠(yuǎn)地好于旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲桿。

環(huán)境污染小，可運用在凈化室。直線電機(jī)不用潤滑液。潤滑液亦是污染物。

現(xiàn)階段直線電機(jī)70%左右的銷售市場中心被毆美日知名品牌占有，如力土樂Rexroth、科爾摩根Kollmogen、派克Parker、西門子PLCSiemens、安川電機(jī)Yaskawa、山洋電機(jī)Sanyo等知名品牌，中國僅有雅科貝思、上銀、大族等極少數(shù)知名品牌，并且在品質(zhì)層面仍沒法與國際品牌市場競爭。

將來伴隨著智能工業(yè)及高精尖機(jī)器設(shè)備的大范疇運用，對機(jī)器設(shè)備明確提出了更高的精度需要，直線電機(jī)將會在這其中充分發(fā)揮愈來愈關(guān)鍵的影響。特別是在是在半導(dǎo)體機(jī)器設(shè)備行業(yè)，以便打破海外封禁，唯有研制自有品牌的高精度直線電機(jī)及其光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、塑料薄膜機(jī)器設(shè)備等半導(dǎo)體中心機(jī)器設(shè)備才可以使我國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈不會受到海外牽制，盡早讓中國人用起“中國芯”。

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