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東莞希思克簡析H型直線電機平臺結(jié)構(gòu)和性質(zhì)

文章來源:東莞希思克傳動科技有限公司    發(fā)布日期:2021-12-31    瀏覽:720次


東莞希思克簡析H型直線電機平臺結(jié)構(gòu)和性質(zhì)

H型直線電機平臺驅(qū)動的直線運動系統(tǒng),比起傳統(tǒng)的”旋轉(zhuǎn)電機+絲杠”組合結(jié)構(gòu),直線運動系統(tǒng)具有更高的動態(tài)性能和傳動精度,同時代表著直線驅(qū)動技術(shù)的發(fā)展方向。在同步驅(qū)動過程中,橫梁的最大扭轉(zhuǎn)角度誤差小于90 urad,雙邊直線傳動的H型運動平臺可以提供強大的推力,可以有效避免單邊驅(qū)動帶來的運動滯后和機械振蕩。平臺基座采用結(jié)構(gòu)剛度大、平整度高的花崗巖材料,橫梁采用工程陶資等輕質(zhì)、高剛度材料。兩端分別與兩個相互平行的直線電機的動子連接,實現(xiàn)Y方向的雙邊同步驅(qū)動,X方向直線電機的定子安裝在橫梁上,動子與滑塊固接,實現(xiàn)X軸方向的運動。

直線電機驅(qū)動的H型平臺因其有大的行程范圍和高的定位精度,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻、微型機械等領(lǐng)城。在實際應(yīng)用過程中,由于在制造與安裝過程中存在誤差,以及工作過程中存在的不確定性擾動等因素的影響,導(dǎo)致即使兩個完全相同的直線電機和伺服系統(tǒng),也不能完全保證橫梁兩端的同步運動。因此實現(xiàn)雙驅(qū)動的高精度同步控制是H型平臺的控制重點和難點。所以,有絕大部分廠商都是做的單邊驅(qū)動,另一端直接用導(dǎo)軌滑塊來確保同步性。東莞希思克傳動科技有限公司設(shè)計雙邊同步控制系統(tǒng),使用兩臺相同的直線電機以保證系統(tǒng)具有高速動態(tài)同步響應(yīng)能力,使用并聯(lián)控制與模組邏輯反饋相結(jié)合的方法來消除機械耦合的影響,力求減小雙邊同步控制的誤差,從而達到同步控制的效果。

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