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全自動精密劃片機(jī)的切割原理

文章來源：東莞希思克傳動科技有限公司    發(fā)布日期：2022-8-20    瀏覽：531次

通常劃片機(jī)劃切工件為圓形或方形的硬。脆和薄的材料，如硅晶圓、藍(lán)寶石基片等。劃片機(jī)在軟件系統(tǒng)控制下，可通過伺服電機(jī)驅(qū)動X、Y、Z三個方向的往復(fù)運動以及Q軸向的轉(zhuǎn)動，按照預(yù)設(shè)尺寸講工件分離。

劃片機(jī)的切割原理是強(qiáng)力磨削的執(zhí)行單元是空氣靜壓點主軸單元，其完成自動上、下料的晶圓傳輸定位系統(tǒng)，自動對準(zhǔn)及自動清洗系統(tǒng)是自動劃片機(jī)的關(guān)鍵。通常劃片機(jī)在配件方面會采用高精密配件，Q軸采用DD馬達(dá)，重復(fù)精度±2arcsec，可達(dá)到極強(qiáng)的穩(wěn)定性效果。

在精密的切割工藝上，全自動精密劃片在應(yīng)用中發(fā)揮重要的角色，而DD馬達(dá)最在自動精密劃片機(jī)有著極其重要的位置。

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